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洁净棚工作原理:
风机从FFU顶部将空气吸入,经初效过滤器,过滤器,过滤后的洁室空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速匀速送出到洁净棚内。形成均流层,使洁净空气气流呈垂直单向流,从而了工作区内所要求的洁净度。